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关于 Axcelis

Axcelis Technologies, Inc.设计、制造和服务用于制造半导体芯片的离子植入和其他加工设备。 公司还提供售后生命周期的产品和服务，包括二手工具、备件、设备升级、维修服务和客户培训。 它提供完整的高能、大电流和中电流植入器产品线，以满足所有应用需求。 它的Purion系统都是基于一个共同的平台，实现了植入物纯度、精度和生产率的结合。 其Purion H、Purion Dragon和Purion H200点阵式高电流系统涵盖了所有高电流要求。 其Purion XE高能系统将其射频（RF）林肯高能、点束技术与Purion平台晶圆处理系统相结合。 它还提供Purion M中电流系统。 其Purion M系统还为特殊应用提供了差异化的能力。