Σχετικά με την Axcelis
Η Axcelis Technologies, Inc. σχεδιάζει, κατασκευάζει και συντηρεί εξοπλισμό εμφύτευσης ιόντων και άλλο εξοπλισμό επεξεργασίας που χρησιμοποιείται στην κατασκευή τσιπ ημιαγωγών. Η εταιρεία παρέχει επίσης προϊόντα και υπηρεσίες μεταγενέστερου κύκλου ζωής, συμπεριλαμβανομένων μεταχειρισμένων εργαλείων, ανταλλακτικών, αναβαθμίσεων εξοπλισμού, υπηρεσιών συντήρησης και εκπαίδευσης πελατών. Προσφέρει μια πλήρη σειρά εμφυτευτήρων υψηλής ενέργειας, υψηλού ρεύματος και μεσαίου ρεύματος για όλες τις απαιτήσεις εφαρμογών. Τα συστήματα Purion της βασίζονται όλα σε μια κοινή πλατφόρμα, η οποία επιτρέπει ένα συνδυασμό καθαρότητας εμφυτευμάτων, ακρίβειας και παραγωγικότητας. Τα συστήματα Purion H, Purion Dragon και Purion H200 σημειακής δέσμης, υψηλού ρεύματος καλύπτουν όλες τις απαιτήσεις υψηλού ρεύματος. Το σύστημα υψηλής ενέργειας Purion XE συνδυάζει την τεχνολογία ραδιοσυχνοτήτων (RF) Linac υψηλής ενέργειας, σημειακής δέσμης με το σύστημα χειρισμού πλακιδίων της πλατφόρμας Purion. Προσφέρει επίσης το σύστημα μέσου ρεύματος Purion M. Τα συστήματα Purion M προσφέρουν επίσης διαφοροποιημένες δυνατότητες για ειδικές εφαρμογές.