À propos de Axcelis
Axcelis Technologies, Inc. conçoit, fabrique et entretient des équipements d'implantation ionique et d'autres équipements de traitement utilisés dans la fabrication de puces à semi-conducteurs. La société fournit également des produits et services de cycle de vie après-vente, notamment des outils d'occasion, des pièces de rechange, des mises à niveau d'équipements, des services de maintenance et des formations pour les clients. Elle offre une gamme complète d'implanteurs à haute énergie, à courant élevé et à courant moyen pour toutes les exigences d'application. Ses systèmes Purion sont tous basés sur une plateforme commune, qui permet de combiner pureté, précision et productivité des implants. Ses systèmes Purion H, Purion Dragon et Purion H200 à faisceau ponctuel et à courant élevé couvrent tous les besoins en courant élevé. Son système à haute énergie Purion XE combine sa technologie Linac à haute énergie par radiofréquence (RF) et à faisceau ponctuel avec le système de manipulation des plaquettes de la plate-forme Purion. Elle propose également le système Purion M à courant moyen. Ses systèmes Purion M offrent également des capacités différenciées pour les applications spécialisées.
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